第25章 老鲜肉，芯片制程工艺

是徐正平校长妥协的条件，毕竟你提出的条件太苛刻了，不用上课，不用考试……对了，校长同意给苏哲学习和科研方面的自由，但每年需要相应的成果，或者通过校学术委员会的现场考核。” 牛光辉补充道。

包正义点点头，说道：“这个比较合理，我想这个苏哲会接受的。”

绝对的自由也不是好事，适当的考核还是有必要的。

两人聊完苏哲的事，聊起国内euv光刻机及五纳米以下芯片制程工艺的相关话题。

范晓明一边开车，一边听着，心里很不是滋味。

目前国内，能够自主可控的是制造28纳米及28纳米以上制程工艺的芯片。

14纳米制程工艺的芯片国内能生产，但相关设备高度依赖进口。

至于14纳米一下，国内目前无法制造。

现在，世界上最先进的芯片制程工艺是3纳米。

14纳米、7纳米、5纳米，再到3纳米，比起国内，整整先进了四代。

而他们这些人，以及相关的高校、机构直接跳过了前面的三代，直接研究3纳米芯片制程工艺。

相关的设备如刻蚀机、薄膜沉寂设备等等都已解决，就剩下最为核心的光刻机了。

而光刻机中的三大难题，euv光源、双工件台和光学镜头，其中双工件台的难题已经解决。

euv光源的问题，清大研制的同步辐射光源虽说极其耗能，但能用。

最后就是光学镜头了。

就他知道的专业研究光学镜头的团队就超过了五个，再加上一些不知名的，参入euv光学镜头研究的团队很多。

相对来说，上岭大学光学镜头研究中心走在了最前列，一旦突破离子束抛光技术，euv光刻机光学镜头的难题将得到解决。

那时euv光刻机的制造不再是难题，这也意味着他们实现了弯道追赶，掌握自主可控的3纳米芯片制程工艺。

他觉得，突破离子束抛光技术的时间快了，那怕苏哲那没有进展，靠他们自己，再来两轮差不多就成功了。

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